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题名:
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批间控制理论与设计方法 [ 专著] pi jian kong zhi li lun yu she ji fang fa / 潘天红，王海燕，谭斐著 , |
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ISBN:
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978-7-03-071476-3 价格： CNY99.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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143页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2022 |
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内容提要:
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本书全面系统地介绍了离散制造过程的批间控制理论及其设计方法，侧重于混合制程批间控制研究的最新进展。全书共7章，分为三大部分，第一部分针对混合制程的控制问题，阐述了批间控制理论与设计方法；第二部分针对带测量时延的半导体晶圆制程的控制问题，给出系统稳定性分析、测量时延概率的估计算法及EWMA滤波器设计方法；第三部分结合贝叶斯理论，研究批间控制性能评估方法，并给出批间控制器协同设计策略。 |
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主题词:
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自动控制理论 |
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中图分类法:
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TP13 版次： 5 |
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主要责任者:
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潘天红 pan tian hong 著 |
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主要责任者:
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王海燕 wang hai yan 著 |
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主要责任者:
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谭斐 tan fei 著 |