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题名:
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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 yong yu e lie huan jing de tan hua gui wei ji dian xi tong / Rebecca Cheung著 , 王晓浩 ，唐飞，王文弢译 |
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ISBN:
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978-7-03-026862-4 价格： CNY35.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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121页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。 |
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主题词:
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半导体材料 微电子技术 |
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主题词:
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半导体材料 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN304 版次： 4 |
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主要责任者:
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张 zhang 著 |
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次要责任者:
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王晓浩 wang xiao hao 译 |
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次要责任者:
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唐飞 tang fei 译 |
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次要责任者:
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王文弢 wang wen tao 译 |