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题名:
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半导体器件工艺原理 ban dao ti qi jian gong yi yuan li / 厦门大学物理系半导体物理教研室编 , |
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ISBN:
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价格： CNY1.50 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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488页 图表 20cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 人民教育出版社 出版日期： 1977 |
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内容提要:
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本书主要内容有工艺概述、氧化工艺、扩散工艺、光刻工艺、电极制备及引线封装…… |
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主题词:
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半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 4 |
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附注:
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高等学校教学参考书 |
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主要团体责任者:
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厦门大学物理系半导体物理教研室 sha men da xue wu li xi ban dao ti wu li jiao yan shi 编 |