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题名:
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集成电路工艺实验 [ 专著] ji cheng dian lu gong yi shi yan / 谭永胜，方泽波主编 , |
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ISBN:
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978-7-5647-2906-6 价格： CNY18.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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85页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 成都 出版社： 电子科技大学出版社 出版日期： 2015 |
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内容提要:
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本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程作用来分配，将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的试验项目。 |
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主题词:
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集成电路工艺 实验 |
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中图分类法:
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TN405-33 版次： 5 |
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主要责任者:
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谭永胜 tan yong sheng 主编 |
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主要责任者:
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方泽波 fang ze bo 主编 |